Para continuar reduciendo el tamaño de los transistores se va a necesitar en breve los escáneres litográficos de alta apertura numérica (AN), y la única empresa que los va a producir durante bastantes años va a ser la neerlandesa ASML. Pero a su vez, son máquinas de un coste enorme que tampoco van a estar al alcance de cualquier fabricante de chips, porque el escáner Twinscan EXE:5200 tiene un precio de 300-400 millones de dólares, o incluso más según algunos analistas. ASML solo entregará unas pocas unidades anualmente, y la primera este mismo año.

ASML ha indicado que pese a algunos retrasos debido a sus proveedores, por falta de piezas o por no tener la suficiente calidad, finalmente va a empezar a montar estos equipos en las instalaciones de sus clientes. El primero será de Intel, según lo indicado anteriormente de manera pública por ambas compañías, que será empleada en su proceso 18A (18 Å o 1.8 nm).

Estas máquinas se envían desmontadas, y parte del negocio de ASML es su montaje y mantenimiento. Los primeros chips fabricados con estos escáneres llegarán en 2025, si no hay retrasos. ASML tiene previsto montar cinco Twinscan EXE:5200 en 2023-2024, y otros cinco en 2025. El consumo de cada máquina es de dos megavatios por oblea producida entre todas las etapas. A mayor amplitud, mayor intesidad del haz, mayor consumo, pero es más fácil transferir el diseño de un fotolito a una oblea, sobre todo los diseños complejos.

Vía: AnandTech.