Applied Materials es una de las principales empresas de producción de maquinaria usada en la producción de semiconductores, porque no empiezan y terminan en los escáneres utilizados para transferir los patrones a las obleas. Hay muchas otras maquinarias implicadas en el proceso, y la primera empresa en utilizar las adecuadas de Applied Materials para los procesos de 3 nm e inferiores con transistores de puerta amplia (GAAFET) es Samsung.
La compañía estadounidense ha dado a conocer parte de sus planes de futuro. Incluye las nuevas máquinas Stensar de deposición química de vapor para los procesos de luz ultravioleta extrema (UVE). Para mejorar la metrología en la fabricación con luz UVE, hay nuevas herramientas PROVision eBeam, capaz de ver a través de varias capas de los chips para localizar errores por posicionamiento extremo difíciles de diagnosticar con otras herramientas.
También las Sym3 Y de grabado y deposición de materiales y su posterior eliminación. Por su minimización de los errores durante este proceso, las máquinas de Applied Materials son las mejor valoradas por los fabricantes de DRAM, aunque no se usen procesos punteros en la fabricación de memoria, sino libres de errores y eso solo lo da la madurez de los procesos litográficos y maquinaria menos avanzada pero más testeada.
Samsung Foundry ya tiene en uso estas maquinarias para su proceso GAAFET, al cual llama MBCFET, para el cual usa nanoláminas apiladas en lugar de nanotubos por ciertos beneficios adicionales… pero a costa de una mayor complejidad. Según Applied Materials, los procesos litográficos para crear transistores GAA introducen menos variabilidad de los transistores. O sea, que varían menos unos a otros en la longitud, ancho, grosor de los materiales depuestos para crearlos, etc. Esa variabilidad es la que lleva en última instancia a que se hable de la «lotería del silicio», por lo que apunta a que los procesadores con transistores GAA serán de curvas de voltaje más homogéneos. Al menos, un poquito más.
Para ayudar en reducir esa variabilidad hay nuevas máquinas Selectra de grabado selectivo para definir mejor el tamaño de los terminales de los transistores en la oblea. Ese tamaño determina las características de los chips, como el consumo o frecuencias que pueden alcanzar, por lo que es necesario maquinaria muy precisa en los GAA para realizar el grabado, deposición y retirada de materiales. Están implicados en la epitaxia, por analogía con el crecimiento de cristales: deposición de cada uno de los canales apilados de los GAA, o dicho de otra forma, hacer crecer verticalmente la estructura de estos transistores. Es donde está el meollo del asunto, y Applied Materials crea la maquinaria que está usando Samsung.
Vía: AnandTech.
