Puede que casi solo se hable de ASML en lo referente a maquinaria avanzada de producción de chips, pero Canon es uno de los competidores fuertes aunque con una cuota de mercado bastante menor. De hecho ASML tiene como el 75 % del mercado y Canon en torno al 15 %, siendo la tercera Nikon con el 5 %, y Samsung también tiene cierta presencia. Normalmente se centran en maquinaria para litografías más maduras, pero que aun así se pueden considerar avanzadas. Ahora Canon ha anunciado un nuevo sistema de nanoimpresión litográfica (NIL) con el que pretende ganar clientes.
La máquina en cuestión es la FPA-1200NZ2C y lo que hace es estampar una máscara sobre la oblea frente al proceso de transferencia de un fotolito a la oblea que se consigue con la exposición a luz. De hecho, Canon asegura que con esta máquina se pueden fabricar chips equivalentes a los que salen de un nodo de 5 nm, por lo que compite directamente con la maquinaria de luz ultravioleta extrema de ASML. En la terminología 3D, la máquina es apta para producir con un ancho de línea mínimo de 14 nm2.
Canon ya promete una mejora de la maquinaria que permitiría crear obleas con un ancho de línea mínimo de 10 nm2, que sería equivalente a chips de 2 nm salidos de los escáneres litográficos de ASML. Además, esta nueva maquinaria elimina la contaminación con partículas finas del equipamiento, siendo reduciendo la necesidad de mantenimiento, y contaminando menos al tener un consumo mucho menor.
Esta tecnología tiene diversas ventajas, como que al no usar luz para exponer los fotolitos no hay problemas de difracción, y además tiene mucha más precisión en la transferencia de los patrones. Es ideal para las estructura de transistores como los GAAFET o los futuros CFET. Pero es una tecnología más propensa a los defectos debido a posibles micropartículas presentes al realizar el estamapado del circuito sobre la propia oblea. Entre otros. Por tanto, Canon se postula como una alternativa, pero no parece que sea una alternativa claramente mejor. Habrá que esperar a ver quién se lanza a producir chips con esta máquina, aunque probablemente se oriente a tipos de chips que no sean principalmente lógicos (CPU), sino sensores, comunicaciones, etc.
