Intel ha sido la que primeramente consiguió tener instalado un escáner litográfico de alta apertura numérica (NA), que son equipos especialmente caros. Cada uno cuesta más del doble que uno de luz ultravioleta normal con un coste estimado de 350 millones de euros. Así que ha tenido más tiempo que otras compañías para probar su funcionamiento, prácticamente un año entero, en el que solo en el último trimestre ya ha procesado más de 30 000 obleas.
Así lo ha indicado Steve Carson, ingeniero en Intel durante la conferencia SPIE de patrones y litografía avanzada. Intel usará inicialmente los dos escáneres de alta NA en el proceso 14A (1.4 nm) que seguirá al lanzamiento este año del 18A. Así que eso son al menos dos años más de pruebas por parte de Intel antes de iniciar la producción en masa con él.
El uso de estos escáneres ha sido en el centro de I+D de la compañía en Hillsboro (Oregón), siendo dos Twinscan EXE:5000 de ASML. El uso de 30 000 obleas en un solo trimestre para pruebas es un volumen enorme y bastante atípico, aunque según Intel, estos escáneres de alta NA son más fiables que modelos previos. También demuestra que Intel está apretando el acelerador para poder empezar la producción de pruebas de algún diseño con el 14A en 2026, con el objetivo de producción en masa en 2027.
Vía: Tom's Hardware.
